Однокамерная установка периодического действия.

          Цилиндрическая вакуумная камера из нержавеющей стали имеет дверь на боковой цилиндрической поверхности. Дверь служит для загрузки образцов и обслуживания внутрикамерных устройств.

          Крышка камеры и днище камеры съемные. Используется в случае демонтажа внутрикамерных узлов.

          Для подготовки образцов используется ионный источник.

          Процесс нанесения покрытий осуществляется лазерным испарением. Лазер находится снаружи установки. Лазерный луч проходит через смотровое окно, попадает на отклоняющее устройство, отражаясь от которого луч попадает на фокусирующее зеркало. Материал испаряется сфокусированным лучом с мишени и наносится на подложки, расположенные на планетарном механизме.

          Процесс нанесения покрытий контролируется кварцевым толщиномером.

          Вакуумная система построена на турбомолекулярном насосе EXT 556 и насосе пластинчато-роторном E2M40.Технологический процесс проводится по емкостному датчику CMR274. Система управления установки обеспечивает проведение технологического процесса в ручном и автоматическом режиме.