Однокамерная установка периодического действия на основе цилиндрической камеры Ду1600. В установке наносится комбинированное покрытие, которое состоит из слоя металла, слоя соединения этого металла (оксид, нитрид, карбид) и кремнийорганического слоя. Для осаждения слоев металлов и их соединений используется планарный дуговой распылитель, длиной 2700 мм, который размещен в кармане вдоль верхней образующей камеры. Нанесение кремнийорганического слоя SiOx производится в ВЧ разряде 20-40 кГц, 400-1000В, который зажигается между барабаном с изделиями и антенной, расположенной в центре камеры. Покрываемые панели размещаются на планетах по периметру барабана, в два слоя. При завершении полного оборота барабана, каждая планета переворачивается на 180 град. – панели, размещенные на планете, меняются местами, тем самым обеспечивается нанесение покрытия на все панели. Вакуумная система состоит из 4 насосов НВДМ 400 и форвакуумного агрегата на основе насосов ЕН1200 и Е1М275, Edwards. Установка может работать в ручном и автоматическом режимах. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.
